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专利名称：一种半导体单晶炉热屏升降装置专利类型：实用新型专利
发明人：赖章田,贺贤汉,夏孝平,黄保强申请号：CN201821001993.4申请日：20180627公开号：CN208562599U公开日：20190301
摘要：本实用新型提供了一种半导体单晶炉热屏升降装置，包括安装座，安装在单晶炉的炉盖上；水冷密封机构，下端部分穿过安装座和炉盖与热屏连接，上端部分安装有升降座；两个升降机构，安装在安装座上并对称位于水冷密封机构两端，包括自下而上安装的齿轮箱、第一联轴器、线性模组以及电磁式刹车组件，两个线性模组的滑块分别与升降座固定连接；驱动机构，与两个升降机构连接，包括安装在单晶炉外的减速电机，该减速电机通过软轴和第二联轴器与齿轮箱连接。本实用新型不仅克服了钨丝软绳与绕线轮升降机构的所有缺陷，而且运行精度高，运动稳定，并且电磁式刹车组件的采用有效防止了线性模组非控制下滑，安全性高，同时也解决了热屏升降不平稳的问题。
申请人：上海汉虹精密机械有限公司
地址：200444 上海市宝山区宝山城市工业园区山连路188号
国籍：CN
代理机构：上海顺华专利代理有限责任公司
代理人：顾兰芳
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