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专利名称:单晶炉装置专利类型:实用新型专利发明人:潘燕萍,潘国强申请号:CN200920039691.0申请日:20090420公开号:CN201447515U公开日:20100505
摘要:本实用新型涉及利用多晶硅提拉出单晶硅的一种装置,具体是一种单晶炉装置。该结构上炉体、炉盖、翻板箱、副炉内均设置有流通冷却液的夹层,炉底板上设置有加热装置和支撑装置,加热装置和支撑装置穿入炉体,炉体内设置有保温层和盛放多晶硅材料的容器,该保温层设置在炉体与加热装置之间,容器设置在支撑装置端部,炉体顶端设置有氩气的导流装置,翻板箱内设置有翻板闸门装置,副炉顶部设置有提拉机构,炉底板底部与翻板箱侧壁均设置有真空抽口,炉体、炉盖、翻板箱、副炉上均设置有镁棒接口。本实用新型的有益效果是提高生产效率,降低生产成本,延长了单晶炉的使用寿命。
申请人:潘燕萍,潘国强
地址:213129 江苏省常州市新北区孟河镇万绥齐梁路157号
国籍:CN
代理机构:常州市维益专利事务所
代理人:何学成
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