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专利名称：一种制备自支撑透明氮化铝纳米晶薄膜的方法专利类型：发明专利
发明人：简基康,李加杰,杨建强,李海兵,吴荣,李锦申请号：CN201110023303.1申请日：20110121公开号：CN102154627A公开日：20110817
摘要：本发明公开了一种制备自支撑透明氮化铝纳米晶薄膜的方法，是通过以下工艺过程实现的：将装有一定量无水AlCl(纯度为质量百分比98％-99％)粉末的陶瓷舟置于长度为100cm的水平管式炉气流方向上游距管口6cm-9cm处，在距陶瓷舟20cm-25cm处放置石英管、陶瓷片等作为产物收集器，密闭管式炉抽真空到2×10-10Pa，Ar气保护下加热水平管式炉到760℃-900℃后，通入200sccm-300sccm的NH气反应四小时，Ar气保护下自然冷却到室温，在收集器上得到自支撑透明氮化铝薄膜。本发明所制备薄膜为纤锌矿结构氮化铝，其特点是：在微观上为纳米晶阵列，在宏观上为、自支撑、透明的氮化铝薄膜。
申请人：大学
地址：830046 维吾尔自治区乌鲁木齐市胜利路14号
国籍：CN
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