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专利名称:波前像差测定装置专利类型:发明专利发明人:大泷达朗
申请号:CN201180017502.X申请日:20110404公开号:CN102844651A公开日:20121226
摘要:一种波前像差测定装置,具有:设置在被测透镜的入射侧的照明光学系统、设置在上述被测透镜的射出侧的测量光学系统,上述照明光学系统具有自由开关的开口光圈,上述照明光学系统沿着照明光学系统的光轴自由移动,以将上述开口光圈和上述被测透镜的入射光瞳面调节到光学共轭关系的位置。由此,提供一种可抑制测定结果的误差的波前像差测定装置。
申请人:株式会社尼康
地址:日本东京
国籍:JP
代理机构:中原信达知识产权代理有限责任公司
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