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专利名称：放膜装置专利类型：实用新型专利发明人：王建勋,谢军
申请号：CN201920343837.4申请日：20190318公开号：CN210026297U公开日：20200207
摘要：本实用新型公开了一种放膜装置，包括送膜滑动座、分膜组件、以及分膜升降驱动组件；分膜升降驱动组件包括分膜连接杆、分膜固定板、分膜升降杆、分膜升降板、以及设于分膜固定板的分膜升降驱动件；分膜组件与分膜升降杆远离分膜升降板的一端相连，分膜升降板与分膜升降驱动件的输出端相连。分膜升降驱动件带动分膜升降板沿分膜升降杆的轴线方向做上升运动，与分膜升降杆的另一端相连的分膜组件随着分膜升降板做同步的上升运动，进而带动分膜组件整体做上升运动，进而将分膜组件上升至一定的高度，使得被分膜组件分离出的干膜以高于晶圆的表面的一定距离移动，避免了干膜移动时触碰晶圆进而使得晶圆偏离贴膜位置的情况发生。
申请人：广东思沃精密机械有限公司
地址：523000 广东省东莞市松山湖高新科技产业园区研发一路1号A栋一楼
国籍：CN
代理机构：深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人：张全文
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