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专利名称：一种电迁移加速测试方法专利类型：发明专利
发明人：郑辉,尹彬锋,陈雷刚,周柯,高金德申请号：CN201711465933.8申请日：20171228公开号：CN108181571A公开日：20180619
摘要：本发明提供了一种电迁移加速测试方法，包括：获取能消除测试结构焦耳热的临界电流密度；预估测试结构总数；对所述测试结构施加多个低于临界电流密度的电流进行电迁移加速测试使测试结构加速失效，并得到加速失效时间；当测试结构加速失效数量达到预设值时，停止测试，获取失效测试结构的加速失效时间对累计加速失效率的分布；根据测试结构的加速失效时间对累计加速失效率的分布计算测试结构的寿命。通过获取能消除测试结构焦耳热的电流范围，再从其中选取多个电流密度对应的电流对测试结构进行电迁移加速测试，避免了电迁移加速测试中焦耳热的影响，最终使获取的测试结构的寿命更加准确。
申请人：上海华力微电子有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：智云
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