专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：声波谐振器及其加工方法专利类型：发明专利发明人：庞慰,张浩
申请号：CN201010513559.6申请日：20101021公开号：CN102025340A公开日：20110420
摘要：一种声波谐振器及其加工方法，声波谐振器包括：具有空气腔的基底；在基底上形成的第一钝化层，且位于空气腔上方；在第一钝化层上形成的种子层，第一钝化层阻止种子层与谐振器周围环境相互作用；在种子层上形成的多层结构；以及在多层结构上表面形成的第二钝化层。方法包括如下步骤：提供带有牺牲层的基底；在牺牲层上形成第一钝化层并延伸至整个基底；在第一钝化层上形成种子层；在种子层上形成多层结构；在多层结构上表面形成第二钝化层；以及将牺牲层从基底移除以形成空气腔。本发明可以减弱材料在谐振器表面的吸附，消除或减轻由于周围空气或潮湿环境影响而产生的谐振器频率偏移，很大程度上放松了对谐振器密闭封装的要求，极大的降低了器件制造成本。
申请人：张浩
地址：519015 广东省珠海市吉大水湾路233号山水华庭2栋5单元301
国籍：CN
代理机构：天津市北洋有限责任专利代理事务所
代理人：杜文茹
更多信息请下载全文后查看
