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专利名称：一种降低超高频体声波谐振器有效机电耦合系数的
方法
专利类型：发明专利
发明人：孙成亮,童欣,刘婕妤,周杰,谢英,邹杨申请号：CN201911126025.5申请日：20191118公开号：CN1100872A公开日：20200317
摘要：本发明公开了一种降低超高频体声波谐振器有效机电耦合系数的方法，该方法是在叉指电极和压电层中间沉积一层中间介质层，形成叉指电极、中间介质层、压电层的三层结构；将叉指电极中相邻的电极指加极性相反的电压，在压电层产生感应电荷，产生逆压电效应；中间介质层在叉指电极上的电压和压电层的共同的作用下，在其与电极接触的表面聚集感应电荷；通过调节中间介质层的厚度或者介电常数调节谐振器的机电耦合系数，其中介电常数的改变可通过选择不同介电常数的材料来实现。本发明降低超高频谐振器的有效机电耦合系数，使该种谐振器应用在窄带滤波器成为可能。
申请人：武汉大学
地址：430072 湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学
国籍：CN
代理机构：武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：许莲英
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