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专利名称：钛铝银氮纳米复合涂层及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：洪春福,刘智勇,杨润田,钱坤明申请号：CN201210550396.8申请日：20121217公开号：CN1037740A公开日：20140507
摘要：一种钛铝银氮纳米复合涂层及其制备方法，其特征在于组成主要包含粒径在8~33nm的钛铝氮纳米晶粒和分布在钛铝氮纳米晶晶界之间的银；其中，钛铝银氮纳米复合涂层含银3~8at.%，含氮45~50at.%，余量为钛铝；步骤依次为：将金属或合金基底装入镀膜设备的腔体内后抽真空，加热并稳定，通入Ar；设置样品台旋转，并开启基底偏压，接着开启铬靶起辉电源并溅射；通入N，按时间线性提高N流量控制Ar/N流量比；步骤4，开启钛铝靶起辉电源并迅速将钛铝靶电流密度提高；同时，将银靶电流密度也提高到；依次地，关闭钛铝靶，关闭银靶，关闭基底加热电源，关闭N通入；最后取出镀膜样品；其硬度更高、断裂韧性更高、在400~600℃环境下摩擦系数和磨损率更低。
申请人：中国兵器科学研究院宁波分院
地址：315103 浙江省宁波市高新区凌云路199号
国籍：CN
代理机构：宁波诚源专利事务所有限公司
代理人：袁忠卫
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