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专利名称:压力传感器专利类型:发明专利发明人:宫沢敬治申请号:CN02815020.1申请日:20020731公开号:CN1537223A公开日:20041013
摘要:压差传感器芯片(4)包括用于测量压差的膜片,并将用于测量压差的膜片接收的压力转换为电信号。静压传感器芯片(5)包括用于测量静压的膜片,并将用于测量静压的膜片接收的压力转换为电信号。压差传感器芯片(4)和静压传感器芯片(5)安装在管座(1)上,从而压差传感器芯片(4)的一个表面和静压传感器芯片(5)的一个表面暴露于共用压力引入室(17)的内部。
申请人:株式会社山武
地址:日本东京都
国籍:JP
代理机构:中科专利商标代理有限责任公司
代理人:刘晓峰
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