1 目的
规定硅烷的材料规格。 2 适用范围
电池车间PECVD段所使用的硅烷。 3 定义
硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，这里特指甲硅烷( SiH4) 。 4 职责权限
该规格由技术部制定，质量部、计划部、采购部参照使用。 5 内容
5.1 硅烷的质量指标
原料气中杂质 H2 N2 O含量 CO CO2 CH4 C2-C4 H20 T-CT 单位 ppm ppm ppm ppm ppm ppm ppm ppm ppm 杂质含量 ≤20 ≤0.5 ≤0.2 ≤0.08 ≤0.05 ≤0.04 ≤0.1 ≤0.5 ≤0.1 5.2 贮存要求：气体容器直立、置于阴凉通风处、温度：-10℃~40℃，远离火源。 6 相关文件
无 7 相关记录
无
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