用于透射电子显微镜检测的样品组及其制作方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201010275065.9 （22）申请日 2010.09.03

（71）申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

地址 201203 上海市浦东新区张江路18号

（10）申请公布号 CN102384866A

（43）申请公布日 2012.03.21

（72）发明人 杨卫明;赵燕丽;庞凌华;段淑卿;齐瑞娟 （74）专利代理机构 北京市磐华律师事务所

代理人 董巍

（51）Int.CI

G01N1/28;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

用于透射电子显微镜检测的样品组及其制作方法

（57）摘要

本发明公开了一种用于透射电子显微镜

(TEM)检测的样品组，所述样品组包括粘合在一起的层状标识件和至少两个样品，样品组中各样品的被粘合的表面均为样品的非检测面，且各样品的检测面均暴露于样品组的供透射电子显微镜检测之用的表面；层状标识件位于样品组中的两个样品的非检测面之间，并以相反的两个表面分别与两个样品的非检测面粘合，以标识各样品的排

列方向；或层状标识件仅以一个表面与位于样品组的首端或尾端的非检测面粘合，以标识样品组的首端或尾端。相对于现有的TEM检测样品组，使用该样品组，可方便地区分相同或相似图案的多个样品，从而提高TEM检测的整体效率。该样品组能够在目前的IC工艺中得到广泛的应用。

法律状态

法律状态公告日

2012-03-21 2012-05-02 2013-02-06 2014-11-05

法律状态信息

公开

实质审查的生效

专利申请权、专利权的转移 授权

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公开

实质审查的生效

专利申请权、专利权的转移 授权

权利要求说明书

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说明书

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